Enhanced Nano-Oxidation on a SCi-Treated Si Surface Using Atomic Force Microscopy
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概要
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- 社団法人応用物理学会の論文
- 2002-07-15
著者
-
岩崎 裕
大阪大学産業科学研究所
-
岩崎 裕
阪大
-
岩崎 裕
阪大産研
-
IWASAKI Hiroshi
The Institute of Scient4fic and Industrial Research, Osaka University
-
YOSHINOBU Tatsuo
The Institute of Scientific and Industrial Research, Osaka University
-
Iwasaki H
The Institute Of Scientific And Industrial Research Osaka University
-
Iwasaki Hiroshi
Institute Of Scientific And Industrial Research Osaka Univerisity
-
Yoshinobu T
Osaka Univ. Osaka Jpn
-
Yoshinobu Tatsuo
The Institute Of Scientific And Industrial Research Osaka University
-
Yoshinobu Tatsuo
Department Of Electrical Engineering Kyoto University:(present Address) The Institute Of Scientific
-
MOON Won-chul
The Institute of Scientific and Industrial Research, Osaka University
-
Moon Won-chul
The Institute Of Scientific And Industrial Research Osaka University
-
Iwasaki Hiroko
Research And Development Center Ricoh Company Ltd.
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