A Numerical Study on Gaseous Reactions in Silane Pyrolysis
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概要
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- 社団法人応用物理学会の論文
- 1987-05-20
著者
-
橘 邦英
愛媛大学大学院工学研究科電子情報工学専攻
-
Tachibana Kunihide
Department of Electronic Science and Engineering, Kyoto University
-
Tachibana Kunihide
Department Of Electronic Science And Engineering Kyoto University
-
MATSUI Yasuji
Central Research Laboratory, Mitsubishi Electric Corp.
-
YUUKI Akimasa
Central Research Laboratory, Mitsubishi Electric Corp.
-
Yuuki A
Semiconductor Research Laboratory Mitsubishi Electric Corporation
-
Yuuki Akimasa
Product Development Laboratory Mitsubishi Electric Corporation
-
Yuuki Akimasa
Central Research Laboratory Mitsubishi Electric Corp.
-
Matsui Yasuji
Central Research Laboratory Mitsubishi Electric Corp.
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