A Plasma Source Using Waves in a Lower Hybrid Frequency Range

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概要

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• Publication Office, Japanese Journal of Applied Physics, Faculty of Science, University of Tokyoの論文
• 1997-07-01

著者

• 橘 邦英

  愛媛大学大学院工学研究科電子情報工学専攻

• Tachibana Kunihide

  Department of Electronic Science and Engineering, Kyoto University

• Kikuchi T

  Department Of Applied Chemistry Faculty Of Science Science University Of Tokyo

• Kikuchi Tetsuo

  Department of Electronic Science and Engineering, Kyoto University

• Ohnishi Keitaro

  Department of Electronic Science and Engineering, Kyoto University

• Yasaka Yasuyoshi

  Department of Electronic Science and Engineering, Kyoto University

• Itoh Tohru

  Development Department, Plasma System Corp.

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