Observations of Silicon Surfaces Exposed to Inductively Coupled CHF_3 and C_4F_8/H_2 Plasmas Using Fourier Transform Infrared Ellipsometry
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概要
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- 社団法人応用物理学会の論文
- 1998-08-15
著者
-
MOTOMURA Hideki
Department of Electrical and Electronic Engineering, Ehime University
-
橘 邦英
愛媛大学大学院工学研究科電子情報工学専攻
-
Tachibana Kunihide
Department of Electronic Science and Engineering, Kyoto University
-
LEE Ho-Jun
Also belongs to Venture Business Laboratory, Kyoto University
-
Tachibana Kunihide
Department Of Electronic Science And Engineering Kyoto University
-
Lee H‐j
Samsung Electronics Co. Ltd. Kyungki‐do Kor
-
Motomura Hideki
Department Of Electrical And Electronic Engineering Ehime University
-
Motomura Hideki
Department Of Electronic Science And Engineering Kyoto University
-
Lee H‐j
Process Development Team Semiconductor R&d Center Samsung Electronics
-
Lee Ho-jun
Also Belongs To Venture Business Laboratory Kyoto University
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