実効チャネル長抽出における測定誤差
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概要
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実効チャネル長の抽出方法の精度を調べるために,そこで使用される最小2乗法における誤差の振舞いを調べた.その結果,「抽出に使用するデータ数を増やすことは主に測定データ値のばらつきを抑える効果をもち,部分的ではあるが測定誤差の低減にも効果をもつ」ことが明らかになった.次に,この結果に基づき実測データを用いた実効チャネル長の抽出結果を考察した.使用した試料においては,短チャネルMOSFETで設計チャネル長と実効チャネル長の間の線形関係のずれが大きくなる傾向が見られた.このような場合,使用するMOSFETとして長短両チャネルMOSFETを含むなるべく多くのMOSFETを使うことが好ましいことがわかった.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1995-09-25
著者
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