強誘電反転ドメインの形成と超音波トランスジューサへの応用 (最近の超音波応用デバイス論文特集)
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概要
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LiNbO_3やLiTaO_3などの圧電結晶にある種の熱処理を施すと,電界を印加することなく,局所的に分極が反転する現象が生じる.この結果形成される反転ドメインを利用すると超高周波用の超音波トランスジューサが実現できる.本論文では,まず,各種のドメイン反転現象について概説するとともに,周期的反転ドメインを利用した超音波トランスジューサの構造,動作原理,特徴などを述べる.また,本トランスジューサの製作法及び変換損の周波数特性の測定法について述べ,LiNbO_3128°回転Y基板を用いて試作した横波トランスジューサの特性を報告する.更に,電極により励振される弾性表面波の影響について検討し,非周期反転ドメインを用いることによりその影響を低減できることを示す.これにより最小変換損が約4.8dBで比帯域幅が約83%の広帯域低損失横波トランスジューサが得られることを示す.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1999-12-25
著者
-
中村 僖良
東北大学大学院工学研究科
-
Nakamura K
Department Of Electrical Engineering School Of Engineering Nagoya University
-
Nakamura K
Tokyo Electron Ltd. Tokyo Jpn
-
加藤 昌法
東北大学大学院工学研究科
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