原料交互供給型Hot Wall蒸着法によるSrS:Cu, Ag薄膜EL素子の作製と評価
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概要
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青色EL材料として注目されているSrS:Cu, Agの発光効率の向上を目指し、材料交互供給型Hot Wall蒸着法によりSrS:Cu薄膜を作製し、結晶性やフォトルミネッセンス(PL)特性に対するCu濃度の依存性、成膜後のアニールの効果を調べた。SrS:Cu薄膜からは472nm付近にピークを持つ青色のPL発光が観測された。Cu濃度を増加させると、グリーンシフトを起こすことなく、PL発光強度のみが増加した。アニールにより更にPL強度が増大したが、同時に発光ピークが15nmほど長波長側にシフトした。X線回折の測定結果からはアニールによるSrS薄膜の結晶性の改善はほとんど認められず、アニールは主にSrS格子中へのCuの拡散を促進する効果があるものと思われる。
- 2000-01-27
著者
-
田中 省作
鳥取大学工学部
-
小林 洋志
鳥取大学工学部
-
深田 晴己
鳥取大学工学部電気電子工学科
-
深田 晴己
静岡大学 ベンチャー・ビジネス・ラボラトリー
-
大観 光徳
鳥取大学工学研究科電気電子工学専攻
-
深田 晴己
静岡大学サテライト・ベンチャー・ビジネス・ラボラトリー
-
小林 洋志
鳥取大学
-
藤原 敏彦
鳥取大学工学部電気電子工学科
-
大澤 龍
鳥取大学工学部電気電子工学科
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