電子線蒸着法により高イオウ圧雰囲気中で作製したSrS:Ce薄膜EL素子
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概要
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SrS:Ce薄膜EL素子の高輝度化を目的として、高いイオウ圧雰囲気でSrS:Ce発光層を成膜した。X線回折の測定の結果、基板温度550℃で最も結晶性のよい薄膜が得られた。しかし得られた最高輝度はイオウ圧、基板温度によらずほぼ500-600cd, m^2であった。この試料をAr-S雰囲気中630℃で熱処理した結果、輝度は上昇し、最高輝度1000cd/m^2を得た。X線回折、PLスペクトルを測定したところasdeposited-試料に比べ、その強度が著しく増大した。またSEM観察を行った結果、as deposited-素子とは異なる表面、及び断面の形状が認められた.
- 1994-01-20
著者
-
大観 光徳
鳥取大学工学部
-
田中 省作
鳥取大学工学部
-
小林 洋志
鳥取大学工学部
-
大観 光徳
鳥取大学工学研究科電気電子工学専攻
-
松原 邦夫
鳥取大学工学部電気電子工学科
-
藤本 和志
鳥取大学工学部電気電子工学科
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