BaTiO_3厚膜絶縁層を有するSrS:Ce Hybrid EL素子におけるH_2S供給方法の検討
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概要
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BaTiO_3厚膜絶縁層を有するSrS:Ce Hybrid EL素子を電子線蒸着法により成膜した。成膜時に、安定にSを供給するためにH_2Sガスを供給した。しかし、H_2Sガス中のH_2またはHがBaTiO_3絶縁層の還元劣化を引き起こし、EL素子の特性の低下ならびに絶縁破壊が生じた。この問題点は、H_2Sをクラッキングし、さらに分解されたH_2やHをTaに吸収させることで、BaTiO_3絶縁層の劣化が抑制され、高温成膜が可能となった。クラッキング温度を900℃にした場合に、1kHz駆動において、最大輝度1260cd/m^2、発光効率0.61lm/Wが得られた。
- 2001-01-22
著者
-
大観 光徳
鳥取大学工学部
-
田中 省作
鳥取大学工学部
-
小林 洋志
鳥取大学工学部
-
深田 晴己
鳥取大学工学部電気電子工学科
-
深田 晴己
静岡大学 ベンチャー・ビジネス・ラボラトリー
-
大観 光徳
鳥取大学工学研究科電気電子工学専攻
-
深田 晴己
静岡大学サテライト・ベンチャー・ビジネス・ラボラトリー
-
小林 洋志
鳥取大学
-
徳田 尚紀
鳥取大学工学部電気電子工学科
-
櫻井 弾
鳥取大学工学部電気電子工学科
-
高橋 聖樹
TDK株式会社開発研究所
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