ダイヤフラム上のPZT薄片を感受部とした焦電形赤外線センサ

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概要

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焦電形赤外線センサの特性,特に電圧感度(R_v),雑音等価入力(NEP),応答速度の改善のためには,PZT,(Pb(Zr,Ti)O_3)セラミックより成る赤外線感受部の低熱容量化が必要である.このため,Siマイクロマシニングにより形成されたダイヤフラム上に薄片化されたPZTバルクセラミックを接着した新規の構造について提案し,その試作,評価を行った.試作したセンサは,PZTセラミックの厚みが約10μm,赤外線受光郎の面積が1×2mm^2である.センサの特性は,100μm厚のバルクセラミックを感受部とする焦電センサに比較し,R_vは36.3〜37.9mV/μWと5倍程度改善された.一方,雑音は1/2程度への低減が期待されたにもかかわらず,2倍程度増加した.このため,NEPは1.8〜3.3×10_<-2>μWと2〜3倍の改善にとどまった.また,応答時間は立上り時間31〜35msと10〜20%程度改善された.雑音増加の原因究明と対策が今後の課題である
1996-01-25

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