PLZT光シャッタを用いた赤外線吸収方式CO_2ガスセンサの製作および特性
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概要
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赤外線吸収方式CO_2ガスセンサの性能および信頼性の向上を目的として, 高感度のバルク薄片タイプ焦電形赤外線センサ, および電気光学的チョッピングを利用したPLZT光学シャッタを用いた赤外線吸収方式CO_2ガスセンサを製作し, その特性について検討した.従来のバルクタイプ焦電センサと機械式チョッパの組合せのガスセンサでは, 単位濃度に対する検出感度0.029mV/ppmが得られた.これに対して, バルク薄片タイプ焦電センサを用いると, 感度0.12mV/ppmと4倍程度の出力値が得られた.一方, バルク薄片タイプ焦電センサとPLZT光学シャッタを併用した場合, 感度0.026mV/ppmが得られ, 従来方式と同等の性能をもちチョッピングの機械部を除去した高信頼性のCO_2ガスセンサが実現できることを示した.
- 1998-08-25
著者
-
田中 省作
鳥取大学工学部
-
小林 洋志
鳥取大学工学部
-
村上 健介
日本セラミック
-
小林 洋志
鳥取大学
-
村上 健介
日本セラミック株式会社研究所
-
谷口 義晴
日本セラミック株式会社 八東研究所
-
村重 伸一
日本セラミック株式会社 八東研究所
-
谷口 義晴
日本セラミック
-
村重 伸一
日本セラミック株式会社研究所
-
村重 伸一
日本セラミック 八東研
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