薄膜シールディドループコイルを用いた近傍磁界計測
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概要
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プリント配線板, およびLSIの近傍磁界を計測するために, 薄膜による磁界検出コイルを開発した。誘電体薄膜の比誘電率を測定し, 有限要素法による電磁界解析を行い, これらを基にコイルを設計し, 微細加工プロセスにより作製した。このコイルを用いて, マイクロストリップ線路近傍の磁界を測定し, プリント配線板による磁界検出コイルと比べて, 空間分解能が約3倍に向上したこと。また, LSI近傍の磁界を測定し放射の強いリードフレームを特定でき, EMC対策ならびにLSI設計上有用な情報が得られた。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1999-07-29
著者
-
山口 正洋
東北大学 大学院工学研究科
-
玉置 尚哉
日本電気(株)
-
増田 則夫
日本電気(株)
-
玉置 尚哉
日本電気株式会社生産技術研究所実装設計テクノロジーグループ
-
荒井 賢一
東北大学 電気通信研究所
-
増田 則夫
日本電気株式会社生産技術研究所実装設計テクノロジーグループ
-
遠矢 弘和
日本電気株式会社
-
遠矢 弘和
日本電気(株)生産技術研究所
-
山口 正洋
東大 大学院医学系研究科
-
万木 弘之
東北大学 通研
-
薮上 信
東北大学 通研
-
遠矢 弘和
日本電気(株) Necラボラトリーズ 生産技術研究所
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