高配向CoFe系膜の軟磁性
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概要
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スパッタCo_90>Fe_10>系膜の結晶配向と軟磁性の関係を調べた。Co_90>Fe_10>膜は、fcc相とhcp相が混在し良好な結晶配向を示さず、数百A, m以上のHcを示した。A1を2at.%添加すると、fcc相(111)面配向が促進され、80A/m以下の低Hcを示した。Taを8at.%添加するとhcp相(001)面配向が促進され、80A/m以下の低Hcを示した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1993-09-17
著者
-
岩崎 仁志
(株)東芝研究開発センター記憶材料・デバイスラボラトリ
-
岩崎 仁志
東芝研究開発センター
-
大沢 裕一
(株)東芝研究開発センター、材料・デバイス研究所
-
大沢 裕一
東芝研究開発センター
-
明石 玲子
東芝研究開発センター
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