誘導結合プラズマ発光分析法による窒化ホウ素中の不純物元素の定量(<特集>品質管理・工程管理のための分析化学)
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概要
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窒化ホウ素粉末試料中の不純物(10元素)のうちSiを除く9元素の定量にはフッ化水素酸-塩酸により加圧酸分解処理した試料溶液を,Siの定量にはメタホウ酸リチウムによって融解処理した試料溶液を対象とした.試料溶液のマトリックス成分であるホウ酸やLiは一部測定元素の測定波長のバックグラウンドを増加させ,すべての元素の発光強度を5〜10%減少させた.そのため,試料溶液とマトリックスをマッチングさせた標準溶液を用いて各元素の検量線を作成する必要があった.実試料の分析を行った結果,本法は窒化ホウ素の品質管理のための分析法として有用であることが分かった.
- 1988-11-05
著者
-
森川 久
工業技術院名古屋工業技術試験所
-
上蓑 義則
産業技術総合研究所計測フロンティア研究部門
-
上蓑 義則
工業技術院名古屋工業技術試験所
-
石塚 紀夫
工業技術院名古屋工業技術試験所
-
柘植 明
工業技術院名古屋工業技術試験所
-
石塚 紀夫
新潟大学理学部自然環境科学科
-
石塚 紀夫
工業技術院名古屋工業技術研究所
-
石塚 紀夫^
工業技術院名古屋工業技術試験所
-
柘植 明
産業技術総合研究所計測フロンティア研究部門
-
飯田 康夫
工業技術院名古屋工業技術研究所
-
柘植 明
工業技術院名古屋工業技術研究所
-
森川 久
産業技術総合研 計測フロンティア研究部門
-
森川 久
工業技術院名古屋工業技術研究所化学部計測化学研究室
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