加圧酸分解/誘導結合プラズマ発光分析法による窒化アルミニウム, 窒化ホウ素焼結体中の不純物の定量
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概要
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窒化アルミニウムと窒化ホウ素焼結体中の不純物をICP-AESにより定量するために, テフロン製容器を用いる加圧酸分解条件を調べた.試料を粉砕すると, 粉砕容器成分の著しい混入が認められ, 微粉化行程を組み込んではならないことが分かった.窒化アルミニウム試料塊は塩酸又は硫酸(1+2)で, 窒化ホウ素試料塊はフッ化水素酸+塩酸で分解できた.試料によっては生成するフッ化イットリウムの沈殿を硫酸(1+2)で分解する.本報を市販の窒化アルミニウムと窒化ホウ素焼結体試料に適用し, 不純物(それぞれ14元素と11元素)をICP-AESによって定量し, 良好な結果を得た.
- 社団法人日本分析化学会の論文
- 1995-04-05
著者
-
中根 清
産業技術総合研究所セラミックス研究部門
-
森川 久
工業技術院名古屋工業技術試験所
-
上蓑 義則
産業技術総合研究所計測フロンティア研究部門
-
上蓑 義則
工業技術院名古屋工業技術試験所
-
石塚 紀夫
工業技術院名古屋工業技術試験所
-
柘植 明
工業技術院名古屋工業技術試験所
-
石塚 紀夫
新潟大学理学部自然環境科学科
-
石塚 紀夫
工業技術院名古屋工業技術研究所
-
石塚 紀夫^
工業技術院名古屋工業技術試験所
-
柘植 明
産業技術総合研究所計測フロンティア研究部門
-
中根 清
工業技術院名古屋工業技術研究所
-
飯田 康夫
工業技術院名古屋工業技術研究所
-
柘植 明
工業技術院名古屋工業技術研究所
-
森川 久
産業技術総合研 計測フロンティア研究部門
-
森川 久
工業技術院名古屋工業技術研究所化学部計測化学研究室
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