二次イオン質量分析法によるセラミックス焼結体の不純物分析(<特集>表面・界面・薄膜と分析化学)
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概要
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二次イオン質量分析法によるセラミックス焼結体の不純物分析について検討した.大幅なサンプルバイアスシフト法によってチャージアップを効果的に補償し, 導電性付与などの試料に対する前処理なしで絶縁物であるセラミックス焼結体を感度よく測定することができた.妨害イオンの除去のためエネルギーフィルタリング法を用いた.本法をアルミナ及び窒化ケイ素焼結体の実試料に対して適用し, ICP-AESによるバルク分析の結果と比較したところ, 満足すべきものではなかった.この結果の不一致は, 試料中における元素の不均一分布や原料粉末及び製造方法などに起因する試料表面状態の違いに基づくものと推察された.
- 社団法人日本分析化学会の論文
- 1991-11-05
著者
-
上蓑 義則
産業技術総合研究所計測フロンティア研究部門
-
石塚 紀夫
工業技術院名古屋工業技術試験所
-
石塚 紀夫
新潟大学理学部自然環境科学科
-
石塚 紀夫
工業技術院名古屋工業技術研究所
-
石塚 紀夫^
工業技術院名古屋工業技術試験所
-
森川 久
産業技術総合研 計測フロンティア研究部門
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