加圧酸分解/誘導結合プラズマ発光分析法による炭化ケイ素, 窒化ケイ素焼結体中の不純物の定量
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概要
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炭化ケイ素並びに窒化ケイ素焼結体中の微量不純物定量のため, テフロン製容器を用いる加圧酸分解条件について検討した.試料を粉砕すると, 試料中には最大10%を超える量の粉砕容器成分が混入し, 定量結果に大きく影響を及ぼすことが分かった.炭化ケイ素は硫酸+フッ化水素酸+硝酸で, 窒化ケイ素はフッ化水素酸+硝酸により, 24〜48時間程度の時間をかければ, 塊状のままで分解できることが分かった.得られた分解溶液のICP-AESにより, 原料粉体と同様に精度よく焼結体中微量不純物(炭化ケイ素中22元素, 窒化ケイ素中21元素)の定量が可能であった.
- 社団法人日本分析化学会の論文
- 1992-12-05
著者
-
中根 清
産業技術総合研究所セラミックス研究部門
-
上蓑 義則
産業技術総合研究所計測フロンティア研究部門
-
石塚 紀夫
工業技術院名古屋工業技術試験所
-
石塚 紀夫
新潟大学理学部自然環境科学科
-
石塚 紀夫
工業技術院名古屋工業技術研究所
-
石塚 紀夫^
工業技術院名古屋工業技術試験所
-
柘植 明
産業技術総合研究所計測フロンティア研究部門
-
森川 久
産業技術総合研 計測フロンティア研究部門
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