炭酸塩融解法と酸抽出法による炭化ケイ素中不純物の誘導結合プラズマ発光分析
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概要
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炭酸ナトリウム融解法により炭化ケイ素粉末試料中不純物(17元素)の平均組成の定量を,フッ化水素酸-硝酸抽出法により粉末粒子表面に偏在した不純物(18元素)の定量を行った.炭酸塩融解した試料溶液マトリックス成分(約1.1%ナトリウム,4.5%硫酸)が各元素の発光強度を20〜25%減少させたので,融剤,酸量を合致させた溶液から各元素の検量線を作成する必要があった.炭酸塩融解法(平均組成)と酸抽出法(表面偏在)での分析結果を比較すると,アルミニウム,ホウ素,カルシウムなどの元素では,平均組成値のほうが表面偏在値より高かった.他の元素については,両者の値はほぼ一致した.すなわち,多くの元素はほとんどが粉末粒子表面に偏在していた.
- 社団法人日本分析化学会の論文
- 1984-11-05
著者
-
上蓑 義則
産業技術総合研究所計測フロンティア研究部門
-
上蓑 義則
工業技術院名古屋工業技術試験所
-
柘植 明
工業技術院名古屋工業技術試験所
-
石塚 紀夫^
工業技術院名古屋工業技術試験所
-
柘植 明
産業技術総合研究所計測フロンティア研究部門
-
石塚 紀夫^[○!R]
工業技術院名古屋工業技術試験所
-
柘植 明
工業技術院名古屋工業技術研究所
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