微小塩素ガスセンサーの開発 : 電極式毒性ガスセンサーの微小化(第1報) (<特集>ダウンサイズ化する分析化学)
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概要
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従来から, 雷量式などのクラーク型電極式塩素ガスセンサーが実用化されている. 低濃度ガスにも迅速に応答することから漏えい(洩)ガス検知警報器用センサーなどとして広く使われている. これらは, フッ素化合物からなる多孔性シートを気液分離膜として使用し, センチメートルサイズのセンサーとなっている. 本研究では, 半導体微細加工技術及び表面改質技術などを応用し, 電極式塩素ガスセンサーの微小化を検討した. センサーボディにはPyrexガラスをダイシングソーで加工して使用した. ECRスパッタリングにて, TiをバインダーとしたPt薄膜を作製し, 内部電極とした. 気液分離部としては, シリコンウェハーに微細孔をDeepRIEによって加工し, 更にはっ水処理等の表面改質処理を行って使用した. その結果, 0.1 ppmCl_2レベルの低濃度城でも迅速に応答し, 10 ppmまでの直線性及び再現性が良好である微小塩素ガスセンサーが開発されたので報告する.
- 社団法人日本分析化学会の論文
- 2000-12-05
著者
-
保母 敏行
東京都立大学大学院工学研究科
-
前田 恒昭
東亜ディーケーケー応用開発部
-
楊 明
東京都立大学工学部
-
保母 敏行
首都大学東京都市環境学部
-
保母 敏行
東京都立大学
-
内山 一美
東京都立大学大学院工学研究科
-
根岸 学
東亜ディーケーケー
-
中野 禅
工業技術院機械技術研究所
-
前田 恒昭
(独)産業技術総合研究所計測標準研究部門
-
大屋 誠志郎
神奈川県産業技術総合研究所
-
八谷 宏光
東亜ディーケーケー(株)
-
伊東 哲
東亜ディーケーケー(株)
-
原田 謹爾
(株)横河総合研究所
-
楊 明
都立大
-
楊 明
東京都立大学大学院工学研究科
-
八谷 宏光
DKK-TOA Corporation
-
伊東 哲
TOADKK
-
Maeda Tsuneaki
Dkk Corporation
-
伊東 哲
東亜ディーケーケー
-
大屋 誠志郎
神奈川県産業技術センター
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