グロー放電質量分析法による銅合金分析のための試料前処理法
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概要
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グロー放電質量分析法 (GDMS) による銅 (Cu) 合金分析に用いる試料表面の前処理法について検討した.ディスク試料は,研磨布 3 種(アランダム,コランダム及びジルコニア)による乾式ベルト研磨,アルミナペースト (1 μm) による鏡面研磨及び硝酸によるエッチングの 5 種類の方法で処理し,放電時間と各元素のマトリックス元素に対するイオン強度比 (IBR) の関係を求めた.純 Cu の場合,いずれの元素も鏡面研磨あるいはエッチングによるものが,短時間で定常値に達し,しかも IBR はほかの 3 方法と比較して低い値であった.Cu 合金の場合,合金種によってはエッチングによって試料表面は黒色化し,C 及び O の IBR が高値を示すなど,不適切な場合も見られ,鏡面研磨が最適であった.合金元素の分析精度を考慮して試料マスク径φ12 mm,放電パラメータとして 800V-3 mA を選択した.市販 Cu 標準試料 7 種を測定して相対感度係数 (RSF_X, Cu) を求めた.Cu 合金標準試料 MBH CRM CBC2 の GDMS 定量値は認証値あるいは化学分析値とよく一致した.また,O の定量下限は 0.5 mass ppm 程度であり,無酸素銅中の O 分析に対応できることを示した.
- 2002-04-05
著者
-
伊藤 真二
独立行政法人物質・材料研究機構分析支援ステーション
-
小林 剛
独立行政法人物質・材料研究機構分析支援ステーション
-
小林 剛
独立行政法人物質・材料研究機構分析ステーション
-
保母 敏行
東京都立大学大学院工学研究科
-
保母 敏行
首都大学東京都市環境学部
-
保母 敏行
東京都立大学
-
山口 仁志
独立行政法人物質・材料研究機構分析ステーション
-
伊藤 真二
物質・材料研究機構
-
伊藤 真二
金属材料技術研究所
-
山口 仁志
物質・材料研究機構
-
小林 剛
独立行政法人国立病院機構西群馬病院呼吸器内科
-
山口 仁志
独立行政法人物質・材料研究機構
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