ダミー陰極を用いるヘリウムグロー放電質量分析法によるチタン酸ストロンチウムの分析
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概要
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ダミー陰極を用いたヘリウムグロー放電質量分析法による非導電性セラミックスの固体試料直接分析について検討した.陽極とチタン酸ストロンチウム(SrTiO_3)との間にグロー放電を生じさせるためにダミー陰極を使用した.そのフライパン形状のプレートは,市販のTaシートから放電加工で外径20mm,開口径5mmのものを切り出した.取っ手の部分を折り返して試料ホルダーと接触させて陰極としての導電性を確保した.開口径10mmの陽極Taプレートを用い,He流量を10mL/minに制御した.放電電圧を徐々に印加し,2kVに設定すると,放電電流はおよそ2mAとなり,セラミックス試料から生成したTi^+及びSr^+のイオン電流強度はピーク面積積分値で10^<-10>Aレベルに達した.Ta^+のイオン電流強度に対するそれらのイオン電流強度の比(IBR)は約0.26で,170分以上にわたり安定したグロー放電が持続した.SrTiO_3単結晶の測定で得られたTiに対する酸素及びストロンチウムの相対感度係数RSF_<O,Ti>及びRSF_<Sr,Ti>は,それぞれ0.179及び2.099であった.本法はSrTiO_3のみならず,非導電性セラミックス分析に適用可能であり,これらの材料中の微量不純物分析に有用である.
- 2007-10-05
著者
-
伊藤 真二
独立行政法人物質・材料研究機構分析支援ステーション
-
小黒 信高
独立行政法人物質・材料研究機構分析支援ステーション
-
荻原 俊弥
独立行政法人物質・材料研究機構分析支援ステーション
-
小林 剛
独立行政法人物質・材料研究機構分析支援ステーション
-
小林 剛
物質・材料研究機構分析支援ステーション
-
小林 剛
独立行政法人物質・材料研究機構分析ステーション
-
小黒 信高
物質・材料研究機構
-
伊藤 真二
物質・材料研究機構
-
伊藤 真二
金属材料技術研究所
-
小林 剛
独立行政法人国立病院機構西群馬病院呼吸器内科
-
荻原 俊弥
独立行政法人物質・材料研究機構
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