燃焼室分解/黒鉛炉原子吸光法によるフルオロカーボン樹脂中の超微量不純物金属の定量
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概要
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ポリテトラフルオロエチレンやベルフルオロアルコキシは耐熱性及び耐薬品性に優れ, かつ含有不純物金属レベルが低い材料であるため, 半導体産業において広く用いられている. したがって, それらの原材料であるフルオロカーポン樹脂中の微量不純物金属の定量は必要不可欠である. 本法では, 電気炉内に入れた石英製燃焼室内に設置したシリコンウェハー表面を反応場として, フルオロカーボン樹脂を空気雰囲気中, 550℃で熱分解した. 続いて, HF/HNO_3 (体積比1:20)の混酸によりウェハー表面を0.2μm程度エッチングし, その溶液中の超微量Na, Al, K, Ca, Cr, Fe, Ni, Cu, Zn を黒鉛炉原子吸光法により定暈した. 本法の空試験値は, それぞれ 0.05, 0.4, 0.07, 0.2, 0.2, 0.3, 0.3, 0.2, 0.9 ngg^<-1>であった. 本検討により, フルオロカーボン樹脂中の超微量不純物金属の定量において, 空試験値の極めて低い, 迅速かつ正確な分析法を確立した.
- 1999-08-05
著者
-
中原 武利
大阪府立大学工学部
-
藤原 健児
松下電子工業(株)照明社照明開発センター
-
中原 武利
大阪府立大学
-
村田 一雄
松下電子工業(株)電子管社CRT開発センター
-
稲田 雅紀
松下電子工業(株)電子管社CRT開発センター
-
稲田 雅紀
松下電子工業(株)電子総合研究所
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