クリーンルーム空気中およびウエハ表面上の有機汚染物の分析
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概要
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Concentrations of organic contaminants (hereafter abbreviated as ORCs) in cleanroom air were measured regularly since operations in a new cleanroom were started. Concentrations of ORCs in cleanroom air gradually decreased and attained steady state values after six months. The removal efficiency of a chemical filter for total ORCs was significantly reduced with time, however the efficiencies for di (2-ethylhexyl) phthalate (DOP) , di (isobutyl) phthalate and low molecular weight cyclosiloxanes (LMCSs) remained at a sufficiently high value for three years. The sticking probabilities of DOP and Trichloroethylphosphate onto Si surface were estimated to be 1 × 10-2 and 5 × 10-3 from the concentrations of ORCs in the air and the masses of ORCs deposited on Si wafers.
- 日本エアロゾル学会の論文
- 2000-03-20
著者
-
諏訪 延行
富士電機(株)
-
藤本 武利
(株)住化分析センター
-
藤本 武利
株式会社住化分析センター
-
竹田 菊男
(株)住化分析センター千葉事業所
-
野中 辰夫
(株)住化分析センター
-
平 敏和
(株)住化分析センター
-
中原 武利
大阪府立大学工学部
-
坂本 保子
(株)住化分析センター
-
広野 耕一
(株)住化分析センター
-
大塚 一彦
ニッタ(株)
-
竹田 菊男
株式会社住化分析センター
-
中原 武利
大阪府立大学
-
竹田 菊男
(株)住化分析センター
-
平 敏和
住化分析セ
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