最近の超音波アクチュエータの研究動向 : 近距離場音波浮揚現象応用を中心にして
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概要
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Recent research trend of ultrasonic actuators is described focusing on near-field acoustic levitation(NFAL) and the applications. NFAL, where planar object 10kg in weight can levitate stable near the vibrating plate, is successfully applied both to non-contact transportation of objects and non-contact ultrasonic motors. In addition to radiation force, there are two kinds of forces associated with acoustic streaming. These forces are also successfully used for actuators. These phenomena and actuators based on NFAL are demonstrated together with recently developed conventional friction driven actuators.
- 2003-06-04
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