753 はんだフリップチップ実装を用いた大変位静電マイクロミラーの開発
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概要
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- 社団法人日本機械学会の論文
- 2003-11-22
著者
-
于 強
横浜国大
-
于 強
横浜国立大学工学部生産工学科
-
三木 隆弘
横浜国立大学工学部生産工学科
-
石川 浩嗣
横浜国立大学工学部生産工学科
-
間宮 宏樹
横浜国立大学工学部生産工学科
-
三木 隆弘
横浜国大院
-
石川 浩嗣
横浜国大院
-
間宮 宏樹
横浜国大院
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