スプレー熱分解法によりトリブチルスズアセテートから作製したSnO_2膜の配向性

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概要

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• SnO_2 thin films have been grown from tri n butyltin acetate (TBTA) on a heated glass substrate by a pneumatic spraying system. XRD profiles of the grown films showed that the growih of (110) , (200) or (211) plane was enhanced depending on the finn growth rate and substrate temperature. Comparison of the results obtained for tetra n butyltin (IV) and di n butyltin (IV) diacetate suggested that the preferred orientation of SnO_2 finns was probably related to the molecular struc tures,i.e., the number of butyl and acetoxy groups of the source compounds.

• 社団法人日本セラミックス協会の論文
• 1994-03-01

著者

• 金子 正治

  静岡大学工学部物質工学科

• 金子 正治

  同工学部物質工学科

• 村上 健司

  静岡大学電子工学研究所

• 金子 正治

  静岡大学工学部

• 八木 績

  静岡県大学大学院電子科学研究科

• 柿沢 勝利

  (株)河合楽器製作所

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