31pYG-8 p 型 Si 基板及び SiGe エピ膜中の B の挙動に対する水素の効果
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 2003-03-06
著者
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上浦 洋一
岡山大院・産業創成工学
-
上浦 洋一
岡山大工
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山下 善文
岡山大工
-
石山 武
岡山大院・産業創成工学
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山下 善文
岡山大院・産業創成工学
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石山 武
岡山大工
-
宮迫 毅明
岡山大工
-
塩谷 俊行
岡山大工
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