29a-E-5 シリコン中の転位運動に及ぼす水素プラズマ照射効果
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 1997-03-17
著者
-
上浦 洋一
岡山大院・産業創成工学
-
橋本 文雄
岡山大工
-
上浦 洋一
岡山大工
-
山下 善文
岡山大工
-
山下 善文
岡山大院・産業創成工学
-
条辺 文彦
岡山大工
-
箱田 善弘
岡山大工
-
井上 景介
岡山大工
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