2p-Z-13 化学エッチングによりn型Si中に導入される欠陥

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1990-09-12

著者

• 米田 稔

  岡理大・理

• 上浦 洋一

  岡山大院・産業創成工学

• 橋本 文雄

  岡山大工

• 橋本 文雄

  岡山大・工

• 上浦 洋一

  岡山大・工

• 柳野 公治

  岡山大・工

• 米田 稔

  岡山大・工

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