27a-T-2 SiGeエピ膜中の転位運動に対する水素の影響

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1998-09-05

著者

• 前田 康二

  東大工

• 上浦 洋一

  岡山大院・産業創成工学

• 上浦 洋一

  岡山大工

• 山下 善文

  岡山大工

• 福永 拓也

  岡山大工

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