29pYC-10 水素によるSi中Pイオン注入欠陥の回復促進効果

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 2001-03-09

著者

• 上浦 洋一

  岡山大院・産業創成工学

• 上浦 洋一

  岡山大工

• 山下 善文

  岡山大工

• 石山 武

  岡山大院・産業創成工学

• 山下 善文

  岡山大院・産業創成工学

• 石山 武

  岡山大工

• 山本 育尚

  岡山大工

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