22aGQ-13 Si基板上SiGe薄膜中の転位運動に対する不純物ドープの影響(22aGQ 格子欠陥・ナノ構造(シリコン系材料),領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン))
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概要
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- 2011-08-24
著者
-
上浦 洋一
岡山大院・産業創成工学
-
石山 武
岡山大院・産業創成工学
-
山下 善文
岡山大院・産業創成工学
-
松永 拓也
横浜市大理
-
松永 拓也
岡山大学院自然
-
山下 善文
岡山大学院自然
-
石山 武
岡山大学院自然
-
上浦 洋一
岡山大学院自然
-
船木 透
岡山大学院自然
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