21pXA-11 p 型 Si 基板上 SiGe 膜の電気的特性に対する水素処理の影響

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 2003-08-15

著者

• 上浦 洋一

  岡山大院・産業創成工学

• 上浦 洋一

  岡山大工

• 山下 善文

  岡山大工

• 石山 武

  岡山大院・産業創成工学

• 山下 善文

  岡山大院・産業創成工学

• 石山 武

  岡山大工

• 宮迫 毅明

  岡山大工

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