軟 X 線エリプソメトリー
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 社団法人日本物理学会の論文
- 1997-09-05
著者
-
山本 正樹
東北大学科学計測研究所
-
山本 正樹
東北大学多元物質科学研究所
-
Yamamoto M
Ntt Electronics Technology Corporation
-
Yamamoto Masafumi
Ntt System Electronics Laboratories
関連論文
- 22pZF-5 極紫外FELによる原子・クラスター多重イオン化実験III. : クラスター多重イオン化のレーザー波長・レーザー強度依存性(22pZF 原子・分子,領域1(原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理))
- 22pZF-4 極紫外FELによる原子・クラスター多重イオン化実験II. : クラスター多重イオン化のサイズ依存性(22pZF 原子・分子,領域1(原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理))
- 22pZF-3 極紫外FELによる原子・クラスター多重イオン化実験I. : 反跳イオン運動量分光による高次光分布測定(22pZF 原子・分子,領域1(原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理))
- 反射波面補正のためにイオンミリングした軟 X 線多層膜鏡の評価
- 軟X線多層膜鏡の形状誤差補正のための大面積イオン銃を用いたミリング装置の開発
- 超高精細バイオイメージング用波面補正軟X線多層膜ミラーの開発
- 傾斜エリプソメトリーによる3次元形状計測 (特集 偏光計測)
- 偏光利用による3次元リアルタイム計測法の開発
- 正反射による物体表面の傾斜エリプソメトリー : 精密実時間形状計測への基本概念
- X線ミラー多層膜 (特集欄 ナノテクノロジーにおけるものづくり) -- (真空中で作製するナノ構造)
- 軟X線多層膜光学
- 水晶振動子を用いたバイブロスキャニング法による非導電体の微細形状計測
- バイブロスキャニング法を用いた微細形状測定システムの開発
- バイブロスキャニング法の微細放電加工機への実装検討 : 微細放電加工機上での微細加工形状のオンマシン測定の試み
- 24aC2 偏光解析法による氷結晶粒界での疑似液体層の検出(結晶成長のその場観察II)
- 圧電センサを用いた共振型バイブロスキャン法の開発
- 軟X線多層膜と応用の現状(EUV基盤技術とその応用の現状)
- 31a-YM-6 Ni薄膜のM吸収端におけるファラデー効果
- バイブロスキャン微細穴形状測定装置の開発
- New Ellipsometric Approach to Critical Dimension Metrology Utilizing Form Birefringence Inherent in a Submicron Line-and-Space Pattern
- 薄膜・表面
- 5a-G-1 透過型多層膜を用いた軟X線偏光分光法 I
- 軟 X 線エリプソメトリー
- 軟X線ポラライザーの最前線
- 軟X線多層膜光学素子 -放射光科学への応用-
- 反射波面補正のためにイオンミリングした軟X線多層膜鏡の評価
- 軟X線顕微鏡用精密多層膜ミラーの開発
- 昭和 60 年度プラズマ研究所共同研究会「真空紫外・軟 X 線領域での測光機器較正法の研究」プログラム
- KrFエキシマレーザ露光装置用TTLアライメント系の開発
- 放電加工による微細穴加工および微細ポンチの成形(形状創成の高精度化)
- 軟 X 線用偏光子
- Ultra-Fast Optoelectronic Decision Circuit Using Resonant Tunneling Diodes and a Uni-Traveling-Carrier Photodiode (Special Issue on Integrated Electronics and New System Paradigms)
- A Large Output Voltage Swing of a Resonant Tunneling Flip-Flop Circuit Employing a Monostable-Bistable Transition Logic Element (MOBILE)
- A Novel Delayed Flip-Flop Circuit Using Resonant Tunneling Logic Gates
- High-Speed Static Frequency Divider Employing Resonant Tunneling Diodes and HEMTs
- High-Speed and Low-Power D-FF Employing MOBILEs : Monostable-Bistable Transition Logic Elements
- A Multilayered Piezoelectric Transformer Operating in the Third Order Longitudinal Mode and Its Application for an Inverter
- High-Power Characteristics of Multilayer Piezoelectric Ceramic Transducers
- Small Multilayer Piezoelectric Transformers with High Power Density : Characteristics of Second and Third-Mode Rosen-Type Transformers
- Finite-element method analysis of low-frequency wideband array composed of disk bender transducers with differential connections (Special issue: Ultrasonic electronics)
- Low-Frequency Sound Source with Dual Bending Radiation Surfaces
- Investigation of Disk Bender Low-Frequency Projector with Dual Radiation Surfaces
- An Optoelectronic Clock Recovery Circuit Using a Resonant Tunneling Diode and a Uni-Traveling-Carrier Photodiode (Joint Special Issue on Recent Progress in Optoelectronics and Communications)
- An Optoelectronic Clock Recovery Circuit Using a Resonant Tunneling Diode and a Uni-Traveling-Carrier Photodiode (Joint Special Issue on Recent Progress in Optoelectronics and Communications)
- An Optoelectronic Logic Gate Monolithically Integrating Resonant Tunneling Diodes and a Uni-Traveling-Carrier Photodiode
- Device Figure-of-Merits for High-Speed Digital ICs and Baseband Amplifiers
- IC-Oriented Self-Aligned High-Performance AlGaAs/GaAs Ballistic Collection Transistors and Their Applications to High-Speed ICs (Special Issue on Heterostructure Electron Devices)
- High-Performance Small-Scale Collector-Up AlGaAs/ GaAs HBT's with a Carbon-Doped Base Fabricated Using Oxygen-lon Implantation (Special Issue on Heterostructure Devices and Epitaxial Growth Techniques)
- 軟X線用多層膜ミラーの設計・製作・評価(X線光学)
- AC-DC converter based on parallel drive of two piezoelectric transformers (Special issue: Ultrasonic electronics)
- Wavelength-Multiplexed Holographic Recording in Cerium Doped Strontium Barium Niobate by Using Tunable Laser Diode
- High-Density Optical Storage with Multiplexed Holographic Recording Method
- Input Power Dependence of Large-Signal Microwave Characteristics of Resonant-Tunneling High Electron Mobility Transistors
- Crosstalk-Suppressed Readout System Using Shading Band
- Three-Track Readout Method Using Two Offset Beams
- A Novel Functional Logic Circuit Using Resonant-Tunneling Devices for Multiple-Valued Logic Applications
- Temperature Dependence of the Phase Coherence Length of High-Mobility AlGaAs/GaAs Quantum-Wire Rings
- 10-GHz Operation of Multiple-Valued Quantizers Using Resonant-Tunneling Devices (Special Issue on Multiple-Valued Logic and Its Applications)
- Highly Uniform Regrown In_Ga_As/AlAs/InAs Resonant Tunneling Diodes on In_Ga_As
- Uniformity of the High Electron Mobility Transistors and Resonant Tunneling Diodes Integrated on an InP Substrate Using an Epitaxial Structure Grown by Molecular Beam Epitaxy and Metalorganic Chemical Vapor Deposition
- Crucial Role of Extremely Thin AlSb Barrier Layers in InAs/AlSb/GaSb/AlSb/InAs Resonant Interband Tunneling Diodes
- Dependence of Resonant Interband Tunneling Current on Barrier and Well Width in InAs/AlSb/GaSb/AlSb/InAs Double-Barrier Structures
- Conductance Oscillations in a Quantum Wire with a Stub Structure due to Quantum Interference
- 軟X線用多層膜の形成とその利用
- 偏光解析法(エリプソメトリ-) (表面の評価技術) -- (表面状態評価法)
- 氷結晶表面における疑似液体層の存在と結晶のモルフォロジー : モルフォロジーIII
- 4a-I-8 偏光解析法による氷表面の疑似液体層の研究
- 偏光解析法による氷表面の疑似液体層の研究 : 厚さの温度依存性と方位依存性
- 回転素子型エリプソメ-タ-とその調整(最近の技術から)
- Tunneling Current through Si Donor Level in GaAs/AlAs Single-Barrier Diodes