山本 正樹 | 東北大学科学計測研究所
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概要
関連著者
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山本 正樹
東北大学科学計測研究所
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Yamamoto M
Ntt Electronics Technology Corporation
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山本 正樹
東北大学多元物質科学研究所
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Yamamoto Masafumi
Ntt System Electronics Laboratories
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波岡 武
日本分光学会
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荒井 彰
東北大学科学計測研究所
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浪岡 武
東北大学科学計測研究所
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谷藤 洋明
東北大科研
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波岡 武
東北大学科学計測研究所
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谷藤 洋明
東北大学科学計測研究所
著作論文
- 軟X線多層膜と応用の現状(EUV基盤技術とその応用の現状)
- 軟 X 線エリプソメトリー
- 軟X線ポラライザーの最前線
- 軟 X 線用偏光子
- 軟X線用多層膜ミラーの設計・製作・評価(X線光学)
- 軟X線用多層膜の形成とその利用