微視的表面凹凸形状キャラクタリゼーションに関する研究(第2報) : 突起頂上近傍の形状評価
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概要
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A compensation method of measuring probe diameter was presented for discrete points of surface profile data. To evaluate the local asperity tip geometry on surface topography data, the segmental area and volume in a certain assessment area were proposed in contrast to the radius of curvature obtained by a best-fit circle near an asperity summit. It can be seen that these new parameters are sensitive to subtle change in asperity tip geometry in the case of extremely small radius of curvature. Consideration was also given to the correlation between asperity tip geometry and summit height.
- 公益社団法人精密工学会の論文
- 1995-02-05
著者
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