2次元最小2乗逐次2点法による平面形状誤差の測定
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概要
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A study is presented of measuring method for flat form error using a 2 D least square serial two point method. This method is extensively improved on a serial two point method. Consequently, this approach can compensate the measuring errors which are caused by fluctuations of four displacement sensors implemented on a measuring head. Further more, accidental errors which are involved in the measuring values are reduced by least square method. In this paper the following results are revealed by experimental analysis. (a) Measurement values obtained by this method sufficiently coincide with those obtained by laser interferometer. (b) Measurement accuracy is achieved to be sub-micrometer.
- 社団法人精密工学会の論文
- 1991-10-05
著者
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