高純度銅スパッタ膜の作製と評価
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概要
著者
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一色 実
東北大学素材工学研究所
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石川 幸雄
東北大学素材工学研究所
-
一色 実
東北大工
-
一色 実
東北大選研
-
内田 和喜雄
東北大学大学院理学研究科
-
横田 泰利
東北大学大学院生
-
末繁 由隆
東北大学大学院生
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