傾斜試料ホルダーを用いた極低角度電子・イオン入射による超高深さ分解能オージェ深さ方向分析
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概要
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- 2011-10-10
著者
-
永富 隆清
大阪大学大学院工学研究科生命先端工学専攻
-
田沼 繁夫
独立行政法人物質・材料研究機構 ナノ計測センター先端表面化学分析グループ
-
田沼 繁夫
独立行政法人物質・材料研究機構
-
永富 隆清
大阪大学大学院工学研究科物質・生命工学専攻
-
田沼 繁夫
物質・材料研究機構ナノ計測センター
-
田沼 繁夫
物質・材料研究機構
-
荻原 俊弥
物質・材料研究機構
-
荻原 俊弥
独立行政法人物質・材料研究機構
-
金 慶中
韓國標準科學研究院
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