オージェ電子分光法によるニッケル : クロム多層膜の深さ方向分析
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概要
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オージェ電子分光法による深さ方向分析において, Ni/Cr多層膜を用いた場合のイオン加速電圧と深さ分解能の関係について検討した.イオン種にはAr^+を用い, イオン加速電圧は0.5〜3.0kVである.その結果, 深さ分解能はイオン加速電圧のl/2乗に比例することが分かった.そして, イオン加速電圧を大きくするにつれ深さ分解能が低下する主要因はイオンエッチングによる表面あれであった.又, イオン加速電圧0.5kVでは表面からの深さに対する深さ分解能の変化率は約0.5〜0.7%であり, 分解能をほぼ一定にして深さ方向分析が可能であった.
- 社団法人日本分析化学会の論文
- 1992-12-05
著者
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