低エネルギーオージェ電子分光法によるコバルト-ニッケル合金の定量分析
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概要
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オージェ電子分光法により表面感度の高い低エネルギーピークを用い, Co-Ni合金の定量分析について検討した.Co-Ni合金のCo及びNiの低エネルギーオージェスペクトルは重複して観測される.その重複ピークはCo濃度が高くなるにつれて高エネルギー側にピークシフトを起こしていた.しかし, ピーク合成法を用いることにより両者は定量的に分離することができ, 定量分析は可能であった.又, バックグラウンドの除去法として一次微分, 二次微分及びtop-hatフィルターの3種類について比較したが, 差はほとんどなく, いずれのフィルターを用いても十分にバックグラウンドを除去することができた.又, 定量した表面のCo濃度は, バルク濃度とよく一致した.
- 社団法人日本分析化学会の論文
- 1992-11-05
著者
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