低エネルギー領域における電子の非弾性平均自由行程のエネルギーと物質に対する依存性 : I.元素について

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概要

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• We have proposed a general formula of electron inelastic mean free path (IMFP) to describe the calculated IMFPs over the 50-2000 eV energy range based on the Inokutis modified Bethe formula for the inelastic scattering cross sec-tion. The IMFPs for 50-2000 eV electrons in 27 elements were calculated using Penns algorithm. The IMFP dependence on electron energy in the range 50-200 eV varies considerably from materal to material. These variations are associated with substantial differences in the electron energy-loss functions amongst the material. We also found that the modified Bethe formula by Inokuti could be fitted to the calculated IMFPs in the range 50-2000 eV within 3% relative error.

• 日本真空協会の論文

著者

• 田沼 繁夫

  日本鉱業(株)分析研究センター

• POWELL C.

  National Institute of Standards and Technology, Gaithersburg

• PENN D.

  National Institute of Standards and Technology, Gaithersburg

• Powell C.J.

  National Institute of Standards and Technology, Gaithersburg

• Penn D.R.

  National Institute of Standards and Technology, Gaithersburg

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