InP/GaInAsP多層膜のオージェデプスプロファイルの解析
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 1996-01-10
著者
関連論文
- 半球型電子分光器を搭載したオージェ電子分光装置のジオメトリー特性と傾斜ホルダーを利用した超高深さ分解能オージェ深さ方向分析 (第34回表面分析研究会講演資料)
- 超軟X線分光におけるLi Kα強度への化学状態の影響
- 電子線励起超軟X線分光装置によるLi-Kα, Al-Lα特性X線を用いた材料解析
- 先端追跡
- X線光電子分光法によるポリプロピレンシ-ト中のアルカンスルホン酸ナトリウム系帯電防止剤の分析
- 電子分光法における深さ方向分析
- オージェ電子分光法によるInP/GaInAsP多層膜の深さ方向分析イオンスパッタリングにより生成する表面あれの定量的評価
- InP/GaInAsP多層膜のオージェデプスプロファイルの解析
- オージェ電子分光法
- オージェ電子分光法によるニッケル : クロム多層膜の深さ方向分析
- ヒ化ガリウム/ヒ化アルミニウム膜のオージェ電子分光法における深さ分解能のスパッタリングイオン種とそのエネルギーに対する依存性
- 9th International Conference on Quantitative Surface Analysis "QSA-9"参加報告
- スパッタリング法による化合物半導体積層構造の評価
- 日本分析化学会第35回通常総会特別講演会
- 傾斜試料ホルダーを用いた極低角度電子・イオン入射による超高深さ分解能オージェ深さ方向分析
- 半球型電子分光器を搭載したオージェ電子分光装置のジオメトリー特性に基づいた傾斜ホルダーを利用した高感度,高深さ分解能オージェ深さ方向分析