二酸化シリコン薄膜(SiO_2)の電子線照射損傷を定量的に評価する
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概要
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- 日本表面科学会の論文
- 2004-04-10
著者
-
木村 隆
物質・材料研究機構
-
西田 憲二
電力中央研究所材料科学研究所
-
西田 憲二
物質・材料研究機構
-
橋本 哲
鋼管計測(株)
-
橋本 哲
鋼管計測株式会社分析センター
-
木村 隆土
福島県立医科大学第一外科
-
橋本 哲
NKK鉄鋼研究所
-
橋本 哲
日本鋼管(株)中央研究所
-
田沼 繁夫
物質・材料研究機構分析支援ステーション
-
井上 雅彦
摂南大学工学部
-
鈴木 峰晴
アルバック・ファイ株式会社
-
橋本 哲
鋼管計測 物理分析室
-
三浦 薫
韓徳化学株式会社
-
木村 隆
日本テキサス・インスツルメンツ
-
木村 隆
独立行政法人物質・材料研究機構 ナノ計測センター先端表面化学分析グループ
-
田沼 繁夫
独立行政法人物質・材料研究機構
-
井上 雅彦
摂南大理工
-
木村 隆
物質・材料研究機構ナノ計測センター
-
木村 隆
物質・材料研究機構 分析ステーション
-
田沼 繁夫
物質・材料研究機構ナノ計測センター
-
木村 隆
福島県立医科大学臓器再生外科
-
橋本 哲
日本鋼管
-
田沼 繁夫
物質・材料研究機構
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