集束イオンビームによる試料作製とビームダメージ層除去
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概要
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- 日本顕微鏡学会の論文
- 2007-07-31
著者
-
加藤 丈晴
ファインセラミックスセンター
-
平山 司
ファインセラミックスセンター
-
平山 司
(財)ファインセラミックスセンター材料技術研究所研究第一部
-
加藤 丈晴
(財)ファインセラミックスセンター
-
平山 司
(財)ファインセラミックスセンターナノ構造研究所 ナノスコピー・シュミレーション部
-
佐々木 宏和
財団法人ファインセラミックスセンター
-
加藤 丈晴
(財)ファインセラミックスセンターナノ構造研究所 ナノスコピー・シュミレーション部
-
平山 司
(財)ファインセラミックスセンター ナノ構造研究所
-
佐々木 宏和
(財)ファインセラミックスセンターナノ構造研究所
-
加藤 丈晴
(財)ファインセラミックスセンター ナノ構造研究所
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