SrBi_2Ta_2O_9強誘電体キャパシタの集積化プロセス
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概要
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- 1997-06-05
著者
-
大槻 達男
松下電子工業(株)電子総合研究所第三研究部
-
藤井 英治
松下電子工業株式会社 技術本部 電子総合研究所
-
上本 康裕
松下電子工業(株)電子総合研究所
-
長野 能久
松下電子工業(株)電子総合研究所
-
十代 勇治
松下電子工業(株)電子総合研究所
-
三河 巧
松下電器産業株式会社半導体社プロセス開発センター
-
長野 能久
松下電器産業株式会社半導体社プロセス開発センター
-
伊東 豊二
松下電器産業株式会社半導体社プロセス開発センター
-
十代 勇治
松下電器産業株式会社半導体社プロセス開発センター
-
藤井 英治
松下電器産業株式会社半導体社プロセス開発センター
-
伊東 豊二
松下電子工業(株)
-
三河 巧
松下電子工業(株)
-
田中 圭介
松下電子工業(株)
-
那須 徹
松下電子工業(株)
-
上本 康浩
松下電子工業(株)
-
藤井 英治
松下電器産業株式会社 半導体社 プロセス開発センター
-
藤井 英治
松下電子工業(株)電子総合研究所
-
大槻 達男
松下電子工業株式会社 技術本部電子総合研究所
-
大槻 達男
松下電子工業(株)半導体社半導体デバイス研究センター
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