DRAM対応スパッタ(Ba, Sr)TiO_3薄膜の低温成膜
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概要
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- 1996-12-05
著者
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山内 智
沖電気工業株式会社
-
吉丸 正樹
沖電気工業(株)超LSI研究開発センタ
-
竹広 忍
沖電気工業(株)超LSI研究開発センタ
-
吉丸 正樹
沖電気工業(株)シリコンソリューションカンパニー研究本部
-
山内 智
沖電気工業(株)
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