竹広 忍 | 沖電気工業(株)超LSI研究開発センタ

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概要

• 同名の論文著者
• 沖電気工業(株)超LSI研究開発センタの論文著者

関連著者

• 吉丸 正樹

  沖電気工業(株)超LSI研究開発センタ

• 竹広 忍

  沖電気工業(株)超LSI研究開発センタ

• 吉丸 正樹

  沖電気工業(株)シリコンソリューションカンパニー研究本部

• 山内 智

  沖電気工業株式会社

• 陳 世昌

  沖電気工業(株)超lsi研究開発センタ

• 吉丸 正樹

  半導体理工学センター(starc)

• 山内 智

  沖電気工業(株)

著作論文

• RFスパッタ法による(Ba, Sr)TiO_3薄膜の結晶性と電気特性
• DRAM対応スパッタ(Ba, Sr)TiO_3薄膜の低温成膜

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