陳 世昌 | 沖電気工業(株)超lsi研究開発センタ

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概要

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関連著者

• 陳 世昌

  沖電気工業(株)超lsi研究開発センタ

• 吉丸 正樹

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• 吉丸 正樹

  半導体理工学センター(starc)

• 吉丸 正樹

  沖電気工業(株)シリコンソリューションカンパニー研究本部

• 吉江 徹

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• 金森 順

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• 木城 耕一

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• 井上 信彦

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• 竹広 忍

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• 金森 順

  沖電気工業

著作論文

• 低誘電率有機SOG膜のILD適用検討
• 金属電極上に堆積したTa2O5の膜特性
• RFスパッタ法による(Ba, Sr)TiO_3薄膜の結晶性と電気特性

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