Improved J-E Characteristics and Stress Induced Leakage Currents (SILC) in Oxynitride Films Grown at 400℃ by Microwave-Excited High-Density Kr/O_2/NH_3 Plasma
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 2001-09-25
著者
-
斎藤 弥八
名大院工
-
斎藤 弥八
名大工
-
OHMI Tadahiro
New Industry Creation Hatchery Center, Tohoku University
-
Saito Yahachi
Institute For Materials Research (imr) Tohoku University
-
Saito Yahachi
Department Of Applied Physics Faculty Of Engineering Nagoya Universtiy
-
Saito Yuji
Department Of Electronic Engineering Graduate School Of Engineering Tohoku University
-
HIRAYAMA Masaki
Department of Electronic Engineering, Graduate School of Engineering, Tohoku University
-
SUGAWA Shigetoshi
Department of Electronic Engineering, Graduate School of Engineering, Tohoku University
-
OHTSUBO Kazuo
Department of Electronic Engineering, Graduate school of Engineering, Tohoku University
-
AHARONI Herzl
New Industry Creation Hatchery Center, Tohoku University
-
Saito Y
Department Of Electrical And Electronic Engineering Faculty Of Engineering Mie University
-
HIGUCHI Masaaki
TOSHIBA CORPORATION
-
SUGAWA Sigetoshi
Tohoku University
-
HIRAYAMA Masaki
New Industry Creation Hatchery Center, Tohoku University
-
Sugawa Shigetoshi
Graduate School Of Engineering Tohoku University
-
Sugawa Shigetoshi
Department Of Electronic Engineering Tohoku University
-
Hirayama Masaki
Toshiba Corporation
-
Hirayama Masaki
Department Of Electronic Engineering Faculty Of Engineering Tohoku University
-
Ohmi Tadahiro
New Industry Creation Hatchery Center Future Information Industry Creation Center Tohoku University
-
Aharoni Herzl
New Industry Creation Hatchery Center Tohoku University
-
Ohtsubo Kazuo
Department Of Electronic Engineering Graduate School Of Engineering Tohoku University
-
Saito Yuji
Department Of Anesthesiology Gunma Prefectural Cardiovascular Center
-
Ohmi Tadahiro
New Industry Creation Hatchery Center (niche) Tohoku University
関連論文
- 20pGS-2 高エネルギー分解能EELS測定によるCNT励起子効果の研究(20pGS ナノチューブ,領域7(分子性固体・有機導体))
- Transmural Myocardial Function to Evaluate the Reversibility of Anthrocycline Cardiotoxicity(Heart Failure, Clinical 17 (M), The 69th Annual Scientific Meeting of the Japanese Circulation Society)
- 30a-J-4 単層ナノチューブのサイズ分布とラマン散乱
- 29p-WB-5 単一サイズナノチューブのラマン散乱
- 30aYH-12 C_ピーポッドのフェムト秒非線形光学応答(30aYH ナノチューブ光物性,領域7(分子性固体・有機導体))
- 20pTC-10 フラーレンピーポッドのフェムト秒非線形光学応答(20pTC ナノチューブII,領域7(分子性固体・有機導体))
- 21aRC-5 C_ピーポッドのフェムト秒非線形光学応答(ナノチューブ(光物性),領域7,分子性固体・有機導体)
- 27pUF-4 TEM-EELSによるカーボンナノチューブの電子構造の研究(27pUF ナノチューブ構造・物性,領域7(分子性固体・有機導体))
- 19aXA-6 TEM-EELSによる2層カーボンナノチューブの電子構造の研究(ナノチューブ電子物性・構造,領域7(分子性固体・有機導体))
- 17pTJ-6 二層ナノチューブの層間整合性
- 結晶成長の物理II : 理想成長からのずれ : 界面張力の効果
- 31a-YK-12 C_の紫外光励起によるフェムト秒過渡呼吸分光
- 14p-DD-8 C_における励起子の超高速緩和と光学非線形性
- 30a-Q-6 C_の紫外光励起によるフェムト秒過渡吸収分光
- 27aUA-8 2層カーボンナノチューブの3次光学非線形性II(27aUA ナノチューブ光物性I,領域7(分子性固体・有機導体))
- 19pYF-4 2層カーボンナノチューブの3次光学非線形性(ナノチューブ光物性,領域7(分子性固体・有機導体))
- 30aZP-10 TEM-EELSによるカーボンナノチューブの電子構造の研究(ナノチューブ(電子構造・光物性))(領域7)
- 結晶成長の物理III : 熱伝導に支配された樹枝状結晶成長
- 23aWB-6 その場顕微鏡法による単一カーボンナノチューブエミッタの作製と電界放出特性の評価(ナノチューブ(伝導),領域7,分子性固体・有機導体)
- 22aRA-4 カーボンナノチューブ電界エミッタにおける金属蒸着の効果(ナノチューブ(物性),領域7,分子性固体・有機導体)
- 20aPS-37 Al/Si(113)表面の研究(ポスターセッション,領域9,表面・界面,結晶成長)
- 21pTG-3 In/Si(113)の表面再配列構造の研究III(表面界面構造,領域9,表面・界面,結晶成長)
- カーボンナノチューブにおける電界放出と表面エレクトロマイグレーションの動的観察
- 23aYF-10 二層カーボンナノチューブ束の通電破損のTEM中その場観察(23aYF ナノチューブ伝導,領域7(分子性固体・有機導体))
- 太いCNT上に成長させた細いCNTとその電子放出特性(電子管と真空ナノエレクトロニクス及びその評価技術)
- 30aTE-3 カーボンナノチューブ表面上での電流誘起された金属移動のTEMその場観察(30aTE ナノチューブ伝導,領域7(分子性固体・有機導体))
- 30aPS-34 In/Si(113)の表面再配列構造の研究II(30aPS 領域9ポスターセッション(表面,界面,結晶成長),領域9(表面・界面,結晶成長))
- 27pUF-14 Nd;YAGレーザ照射による多層CNT五員環上の吸着分子の脱離(27pUF ナノチューブ構造・物性,領域7(分子性固体・有機導体))
- 21aPS-37 Ag/Si(111)√×√表面の低温構造の解析IV(領域9ポスターセッション,領域9(表面・界面,結晶成長))
- 19pYF-10 内包単層カーボンナノチューブのNMR(ナノチューブ光物性,領域7(分子性固体・有機導体))
- 24aYN-13 CNT電界エミッタのin-situ TEMによる動的観察(ナノチューブ物性1(電子物性・構造他),領域7(分子性固体・有機導体))
- 15aPS-47 Ag/Si(111)√×√ 表面の低温構造の解析 III(領域 9)
- 14pXG-6 In/Si(113) の表面再配列構造の研究(表面界面構造 : 半導体, 領域 9)
- 24aWX-7 結晶成長におけるキラル対称性の破れ : ARSモデル(24aWX 結晶成長,領域9(表面・界面,結晶成長))
- 25pWS-5 SiC(0001)基板上に生成したグラフェン膜のX線ラウエ関数による層数決定(25pWS 領域9,領域7合同 グラフェン,領域9(表面・界面,結晶成長))
- 24aRA-5 単層カーボンナノチューブバンドルの超高速励起子エネルギー移動(24aRA ナノチューブ2,領域7(分子性固体・有機導体))
- 29aZB-6 分子内包単層カーボンナノチューブの NMR (III)
- 17pTJ-5 フラーレン内包単層カーボンナノチューブのNMR
- 28aYX-2単層カーボンナノチューブの水素ガス吸着特性
- 27aWB-4 アーク放電による二層カーボンナノチューブ (DWCNT) の成長
- 28aYX-6 ドープした単層カーボンナノチューブのNMR (II)
- 28p-J-8 C_60のフェムト秒過渡吸収分光と緩和ダイナミクスII
- 29p-H-7 C_クラスターの吸収と発光
- カーボンナノチューブを電子源とした超高輝度光源管
- カーボンナノチューブのディスプレイデバイスへの応用
- 結晶成長の物理 IV : 溶液からの結晶成長
- 26a-ZD-13 C_薄膜の光学非線形性
- 磁性金属内包カーボンナノチューブの磁気特性
- カーボンナノチュユーブ電子源とディスプレイ (特集 ナノカーボン材料の創製と応用の最前線)
- 31p-WB-1 C_のフェムト秒過渡吸収分光と緩和ダイナミクス
- 31a-WB-13 C_のフェムト秒過渡吸収分光と緩和ダイナミクス
- ニューダイヤモンド,ニューカーボンと電子放出の将来
- Highly Reliable MOS Trench Gate FET by Oxygen Radical Oxidation
- Improved J-E Characteristics and Stress Induced Leakage Currents (SILC) in Oxynitride Films Grown at 400℃ by Microwave-Excited High-Density Kr/O_2/NH_3 Plasma
- Low Temperature Gate Oxidation MOS Transistor Produced by Kr/O_2 Microwave Excited High-Density Plasma
- 27aYN-6 2層カーボンナノチューブの超高速ダイナミクス(ナノチューブ物性2(光物性),領域7(分子性固体・有機導体))
- 25pF-4 単層カーボンナノチューブの吸収スペクトルにおける励起子効果
- 12pWF-13 単層カーボンナノチューブの磁性分子吸着特性 (III)(ナノチューブ物性, 領域 7)
- 27aWB-3 カーボンナノチューブ表面でのガス分子吸着
- 29p-J-6 マキシマムエントロピー法によるY@C_82の金属内包構造の直接観察
- 15a-B-10 C_結晶のラマン散乱:試料作製処理条件の及ぼす影響
- 29p-C-4 固体C_クラスターのラマンスペクトルの温度依存性と励起光強度依存性
- 29a-ZA-10 カーボンナノチューブの生成条件
- 29p-F-1 固体C_クラスターのラマンスペクトルの温度変化
- 27p-APS-24 磁化率からみたC_K_xの超伝導転移
- 29p-H-6 固体C_クラスターのラマン散乱
- 解説 カーボンナノチューブの電界放出とその応用 (特集 フラーレンファミリー材料と最近の話題)
- 結晶成長の物理I : 融液からの理想的結晶成長
- Three Dimensional Monitoring of Stack Plume Dynamics by a Scanning Mie Lidar System as a Plume Watchdog Station
- Experimental Discussion on Eye-Safe 1.54μm Photon Counting Lidar Using Avalanche Photodiode
- Sodium temperature lidar observation at Syowa Station: Summary of three-year observations and unusually high temperature in 2002
- 29pZP-13 単層カーボンナノチューブの磁性分子吸着特性(II)(ナノチューブ(伝導特性・磁性))(領域7)
- 総論/カーボンナノチェーブの機能と応用の展望 (特集 カーボンナノチューブ)
- 触媒金属組み合わせによるナノチューブ成長制御とナノチューブ先端構造(カーボンナノチューブの成長とその応用)
- 23aXF-13 CNT-CNT 相互作用の TEM 中でのその場観察
- 22aXF-10 単層カーボンナノチューブの磁性分子吸着特性
- 21aXF-4 TEM-EELS による二層カーボンナノチューブの電子構造の研究 II
- 三重県で初めてのリフレッシュ理科教室
- 30pZB-5 TEM-EELS による二層カーボンナノチューブの電子構造の研究
- Unidirectionally Textured CaBi_4Ti_4O_ Ceramics by the Reactive Templated Grain Growth with an Extrusion
- Remote Estimation of the Chlorophyll Concentration of Living Trees Using Laser-induced Fluorescence Imaging Lidar
- ナノ電子素子から燃料電池自動車まで,大きく広がるその可能性 カーボンナノチューブの応用 (特集 カーボンナノチューブ)
- First mesopause temperature measurements using sodium lidar observations in the Antarctic region
- 24pYF-9 多層カーボンナノチューブ生成における雰囲気ガスの影響(II)
- 結晶成長の物理VI : 共晶中の構造
- 結晶成長の物理V : 方向性凝固での界面不安定性
- ヘテロエピタキシャル成長におけるミスフィット転位と島状構造(どのように結晶成長現象をモデル化するか?)
- 25pTH-5 ランダム蒸着ドメインの競合(25pTH 結晶成長,領域9(表面・界面,結晶成長))
- 驚異の新素材, カーボンナノチューブ
- カーボンナノチューブフィールドエミッタ
- カーボンナノチューブ (新春特集 ナノテクノロジー)
- 希土類元素とカーボンナノチューブ
- カーボンナノチューブ膜の作製とその電界放出特性
- カーボンナノチューブの電界放出電子源への応用
- ECO TECHNOLOGY カーボンナノチューブを利用した水素貯蔵--研究の現状
- 24pYE-12 単層カーボンナノチューブのガス吸着特性
- 24pYF-2 アルカリ金属をドープした単層カーボンナノチューブのNMR
- 23aYF-9 単層カーボンナノチューブにおけるクーロン効果のチューブ径依存性
- 28pYX-6 カーボンナノチューブの応用 / 電界放出電子源
- カーボンナノチューブの応用 (特集 ナノ機能性材料)